2022年12月，在大型仪器设备效益评价的基础上，经过院系审核推荐、专家函评、现场答辩以及专家组会评等环节，清华大学实验室管理处对《清华大学第三十五届大型仪器设备使用效益奖获奖名单》进行公示。在本届大型仪器设备效益奖评选中，微纳加工中心共7台设备获奖，其中3台设备获二等奖、4台设备获三等奖。

“清华大学大型仪器设备使用效益奖”每学年度评选一次，评选范围为校内已建账并使用一年以上的、单台价值人民币10万元以上的大型仪器设备，评审内容主要包括上学年度仪器设备在使用机时、人才培养、新功能开发、设备管理、开放服务、使用成果及特色等方面。在清华大学历届大型仪器设备使用效益奖评审中，微纳加工中心多台设备已连续多年获奖。