设备名称：真空互联-角分辨光电子能谱

设备型号：MULTIPROBE ARPES

厂 家：Scienta Omicron

设备编号：A21000102

设备分类：表征与分析，真空互联，前沿基础研究服务

设备功能简介：

分析高质量薄膜晶体中的电子能带色散关系，并给出固体的费米面等信息，通过变温实验进一步得到薄膜晶体电子结构随温度的变化关系，温度最低可到10K。

设备性能指标：

1、样品台：液氦5轴样品架，可实现X，Y，Z，极角，面内角等维度的移动；

2、半球形能量分析器，可实现XPS、ARPES、UPS测试。角度模式下，接受角度范围±10°；

3、能量分辨率在3 meV以内；

4、角度分辨率在 0.1以内；

5、双阳极X射线源，Mg/ Al 。

设备物理位置：

微纳加工中心南区108实验室

设备预约方法：

1、由项目组负责人填写并提交申请书，实验操作者提交实验申请表。

说明：真空互联设备使用申请书和实验申请表请在77779193永利-表格下载中下载，填写后交给主管工程师。

2、“送样测试”或“委托加工”的，请联系主管工程师。

3、进入实验室实操设备的：

3.1 按实验室开放管理规定，成为实验室用户。

3.2 联系主管工程师，进行设备培训，并通过相关考核。填写完成微纳加工中心设备培训与考核记录单。

3.3 在清华大学大型仪器共享服务平台输入仪器名称，点击“找仪器”进行搜索,找到对应的仪器后进行“上机预约”。

工程师联系方式：

高兆艳：13051135063，zygao@mail.tsinghua.edu.cn