设备名称：合金炉

设备型号：MB-81

厂 家：THERMCO

设备编号：11013950

设备分类：薄膜

设备功能简介：

通过在一定温度下，在腔体内通入N₂/H₂混合气体，达到消除样品铝硅之间较大的接触电阻以期获得良好的欧姆性电接触的目的。

设备性能指标：

1、温度0～500度；

2、三点控温；

3、排风不足可互锁供气系统。

设备物理位置：

微纳加工中心主超净间104实验室

设备预约方法：

通过清华大学仪器共享服务平台在线预约使用.

工程师联系方式：

曹秉军：62784044-220，caobj@tsinghua.edu.cn

备注：

样品不能带有金、银、铜、或者进入加工过金、银、铜的设备腔体。

样品上不能有挥发性材料。

样品上不能有有机物。

样品需清洗干净才可以进入腔体。